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摘要：隨著當(dāng)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，微位移技術(shù)已然在高科技各個(gè)產(chǎn)業(yè)中占據(jù)了非常重要的地位。作為微位移領(lǐng)域十分重要的一部分，微位移工作臺(tái)已經(jīng)逐漸成為微位移技術(shù)的一個(gè)核心研究方向，許多研究者對(duì)微位移工作臺(tái)進(jìn)行了深入的研究。設(shè)計(jì)了一臺(tái)以壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)、采用空間柔性鉸鏈桿和平面柔性鉸鏈桿，形成雙層鉸鏈桿對(duì)稱一體化結(jié)構(gòu)的三維無耦合微位移工作臺(tái)。著重完成了該工作臺(tái)的總體設(shè)計(jì)計(jì)算，并利用柔性鉸鏈的剛度理論公式進(jìn)行了校核，達(dá)成了以壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的柔性鉸鏈微位移工作臺(tái)，其結(jié)構(gòu)緊湊、無間隙、無機(jī)械摩擦、無需潤滑以及具有高位移分辨率，解決了三維耦合問題，實(shí)現(xiàn)三個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)能夠相互獨(dú)立。
關(guān)鍵詞：微位移；壓電驅(qū)動(dòng)；耦合運(yùn)動(dòng)：柔性鉸鏈
目錄 摘要 ABSTRACT 第一章 緒論-2 1.1國內(nèi)外微位移技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀-2 1.2微位移技術(shù)的應(yīng)用-3 1.3本課題的研究內(nèi)容和意義-5 第二章 機(jī)械式微位移工作臺(tái)的概述-6 2.1機(jī)械式微位移工作臺(tái)的種類-6 2.2機(jī)械式微位移工作臺(tái)的工作原理-9 第三章 機(jī)械式微位移工作臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)-10 3.1雙層鉸鏈桿對(duì)稱一體化結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)-10 3.2三維無耦合位移輸出設(shè)計(jì)-11 3.3驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)-12 3.4微位移行程的設(shè)計(jì)-13 第四章 柔性鉸鏈桿的設(shè)計(jì)-16 4.1柔性鉸鏈桿的設(shè)計(jì)計(jì)算-16 4.2柔性鉸鏈桿的剛度校核-17 結(jié)論與展望-20 參考文獻(xiàn)-21 致謝-22 |
