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摘 要:隨著光電產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,透明導(dǎo)電薄膜進(jìn)入了人們的視野。作為光電子器件的關(guān)鍵電極材料,在平面顯示、觸摸屏、薄膜太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域具有巨大的市場(chǎng)需求。開(kāi)發(fā)新型透明導(dǎo)電薄膜,對(duì)未來(lái)我國(guó)光電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展意義重大。本文綜述了我國(guó)透明導(dǎo)電薄膜的產(chǎn)業(yè)、技術(shù)現(xiàn)狀以及應(yīng)用,簡(jiǎn)單介紹了五種薄膜制備工藝技術(shù)并進(jìn)行優(yōu)缺點(diǎn)對(duì)比。著重討論了利用磁控濺射法制備CdO基薄膜,通過(guò)改變薄膜中銦的含量,從而提高太陽(yáng)能電池的光利用率。最后,對(duì)透明導(dǎo)電薄膜的發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了展望。 關(guān)鍵詞:透明導(dǎo)電薄膜,研究進(jìn)展,制備工藝,太陽(yáng)能電池,發(fā)展趨勢(shì)
目錄 摘要 Abstract 1 透明導(dǎo)電薄膜概述-3 1.1 概述-3 1.2 透明導(dǎo)電薄膜現(xiàn)狀-3 1.3 透明導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用-4 2 透明導(dǎo)電薄膜的制備-5 2.1 真空蒸鍍法-5 2.2 磁控濺射法-6 2.3 脈沖激光沉積法(PLD)-7 2.4 溶膠-凝膠法(Sol-Gel)-7 2.5 噴霧熱解法(SP)-8 2.6 幾種制備技術(shù)的比較-9 3 基于磁控濺射法的研究分析-10 3.1 實(shí)驗(yàn)原理-10 3.2 實(shí)驗(yàn)步驟-11 3.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析-11 結(jié)論-15 參 考 文 獻(xiàn)-16 致 謝-17 |